A single-layer micromachined tunable capacitor with an electrically floating plate
| Auteur(s): |
Fahimullah Khan
Yong Zhu Junwei Lu Jitendra Pal Dzung Viet Dao |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, avril 2016, n. 4, v. 25 |
| Page(s): | 045014 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/25/4/045014 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10226200 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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