Redundantly piezo-actuated XYθ z compliant mechanism for nano-positioning featuring simple kinematics, bi-directional motion and enlarged workspace
Auteur(s): |
Wu-Le Zhu
Zhiwei Zhu Suet To Qiang Liu Bing-Feng Ju Xiaoqin Zhou |
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Médium: | article de revue |
Langue(s): | anglais |
Publié dans: | Smart Materials and Structures, décembre 2016, n. 12, v. 25 |
Page(s): | 125002 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/25/12/125002 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10216127 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
13.12.2018