Piezoelectric MEMS array package for distributed CMP pressure control
| Auteur(s): |
Mohammad Mayyas
|
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, juin 2015, n. 6, v. 24 |
| Page(s): | 065006 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/24/6/065006 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10217057 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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