Piezoelectric MEMS array package for distributed CMP pressure control
| Autor(en): |
Mohammad Mayyas
|
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Juni 2015, n. 6, v. 24 |
| Seite(n): | 065006 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/24/6/065006 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10217057 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
Structurae kooperiert mit
