Optimal Airflow Performance for FOUP Systems in Cleanrooms Using SVE Quantification Method
| Auteur(s): |
Yoshihide Suwa
Jin Chul Park Yong-Shik Kim |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Journal of Asian Architecture and Building Engineering, mai 2011, n. 1, v. 10 |
| Page(s): | 257-261 |
| DOI: | 10.3130/jaabe.10.257 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10331472 - Publié(e) le:
29.07.2019 - Modifié(e) le:
29.07.2019
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