Optimal Airflow Performance for FOUP Systems in Cleanrooms Using SVE Quantification Method
| Autor(en): |
Yoshihide Suwa
Jin Chul Park Yong-Shik Kim |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Journal of Asian Architecture and Building Engineering, Mai 2011, n. 1, v. 10 |
| Seite(n): | 257-261 |
| DOI: | 10.3130/jaabe.10.257 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10331472 - Veröffentlicht am:
29.07.2019 - Geändert am:
29.07.2019
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