Micromachined thermoelectric IR sensors fabricated by a self-aligned process
| Auteur(s): |
Dehui Xu
Bin Xiong Yuelin Wang |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, janvier 2011, n. 1, v. 20 |
| Page(s): | 015013 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/20/1/015013 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10224366 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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