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Micromachined thermoelectric IR sensors fabricated by a self-aligned process

Autor(en):


Medium: Fachartikel
Sprache(n): Englisch
Veröffentlicht in: Smart Materials and Structures, , n. 1, v. 20
Seite(n): 015013
DOI: 10.1088/0964-1726/20/1/015013
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  • Über diese
    Datenseite
  • Reference-ID
    10224366
  • Veröffentlicht am:
    04.12.2018
  • Geändert am:
    04.12.2018
 
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