Micromachined thermoelectric IR sensors fabricated by a self-aligned process
| Autor(en): |
Dehui Xu
Bin Xiong Yuelin Wang |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Januar 2011, n. 1, v. 20 |
| Seite(n): | 015013 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/20/1/015013 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10224366 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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