Micromachined pressure sensors: review and recent developments
| Auteur(s): |
W. P. Eaton
J. H. Smith |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, octobre 1997, n. 5, v. 6 |
| Page(s): | 530-539 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/6/5/004 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10214651 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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