Measurement of piezoelectric strength of ZnO thin films for MEMS applications
| Auteur(s): |
Fred J. von Preissig
Hong Zeng Eun Sok Kim |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, juin 1998, n. 3, v. 7 |
| Page(s): | 396-403 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/7/3/014 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10214740 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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