Integrated on-site collection and off-site analysis of airborne molecular contamination in cleanrooms for integrated circuit manufacturing processes
| Auteur(s): |
Ruiqing Chen
Angus Shiue Junjie Liu 
Yuan Zhi Dingchao Zhang Fiona Xia Graham Leggett
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|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Building and Environment, avril 2022, v. 214 |
| Page(s): | 108941 |
| DOI: | 10.1016/j.buildenv.2022.108941 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10661596 - Publié(e) le:
28.03.2022 - Modifié(e) le:
28.03.2022
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