Integrated on-site collection and off-site analysis of airborne molecular contamination in cleanrooms for integrated circuit manufacturing processes
| Autor(en): |
Ruiqing Chen
Angus Shiue Junjie Liu 
Yuan Zhi Dingchao Zhang Fiona Xia Graham Leggett
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|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Building and Environment, April 2022, v. 214 |
| Seite(n): | 108941 |
| DOI: | 10.1016/j.buildenv.2022.108941 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10661596 - Veröffentlicht am:
28.03.2022 - Geändert am:
28.03.2022
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