Focused ion beams and silicon-on-insulator - a novel approach to MEMS
| Auteur(s): |
Jürgen H. Daniel
David F. Moore John F. Walker |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, juin 2000, n. 3, v. 9 |
| Page(s): | 284-290 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/9/3/306 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10215185 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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