Field investigations and dynamic measurements of process activity induced VOCs inside a semiconductor cleanroom
| Auteur(s): |
Rih-Sheng Jian
Tse-Yu Wang Lung-Yu Song Chun-Yen Kuo Wei-Cheng Tian Ei-Wen Lo Chia-Jung Lu |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Building and Environment, décembre 2015, v. 94 |
| Page(s): | 287-295 |
| DOI: | 10.1016/j.buildenv.2015.08.023 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10389343 - Publié(e) le:
26.11.2019 - Modifié(e) le:
26.11.2019
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