Field investigations and dynamic measurements of process activity induced VOCs inside a semiconductor cleanroom
| Autor(en): |
Rih-Sheng Jian
Tse-Yu Wang Lung-Yu Song Chun-Yen Kuo Wei-Cheng Tian Ei-Wen Lo Chia-Jung Lu |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Building and Environment, Dezember 2015, v. 94 |
| Seite(n): | 287-295 |
| DOI: | 10.1016/j.buildenv.2015.08.023 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10389343 - Veröffentlicht am:
26.11.2019 - Geändert am:
26.11.2019
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