Fabrication and performance of a flat piezoelectric cantilever obtained using a sol–gel derived PZT thick film deposited on a SOI wafer
| Auteur(s): |
T. Kobayashi
J. Tsaur M. Ichiki R. Maeda |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, février 2006, n. 1, v. 15 |
| Page(s): | S137-S140 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/15/1/022 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10222993 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
Structurae coopère avec
