Fabrication and electromechanical characterization of silicon on insulator based electrostatic micro-scanners
| Auteur(s): |
Dong Yan
Alyssa Apsel Amit Lal |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, août 2005, n. 4, v. 14 |
| Page(s): | 775-784 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/14/4/037 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10216738 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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