Control strategy of fan filter units based on personnel position in semiconductor fabs
| Auteur(s): |
Jiaan Zhao
Chenjiyu Liang Huan Wang Xianting Li Wei Xu |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Building and Environment, septembre 2022, v. 223 |
| Page(s): | 109420 |
| DOI: | 10.1016/j.buildenv.2022.109420 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10689327 - Publié(e) le:
13.08.2022 - Modifié(e) le:
13.08.2022
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