Control strategy of fan filter units based on personnel position in semiconductor fabs
| Autor(en): |
Jiaan Zhao
Chenjiyu Liang Huan Wang Xianting Li Wei Xu |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Building and Environment, September 2022, v. 223 |
| Seite(n): | 109420 |
| DOI: | 10.1016/j.buildenv.2022.109420 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10689327 - Veröffentlicht am:
13.08.2022 - Geändert am:
13.08.2022
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