Approaches for improving airflow uniformity in unidirectional flow cleanrooms
| Auteur(s): |
M. Cheng
G. R. Liu K. Y. Lam W. J. Cai E. L. Lee |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Building and Environment, mai 1998, n. 3, v. 34 |
| Page(s): | 275-284 |
| DOI: | 10.1016/s0360-1323(98)00028-6 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10393568 - Publié(e) le:
26.11.2019 - Modifié(e) le:
26.11.2019
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