Application of adaptive inverse compensation feedforward—MPC feedback control to AFM piezoelectric micro-positioning platform
Auteur(s): |
Liu Xinliang
Song Zhengxun Li Chen Tian Liguo Wang Guoliang |
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Médium: | article de revue |
Langue(s): | anglais |
Publié dans: | Smart Materials and Structures, 7 juin 2024, n. 7, v. 33 |
Page(s): | 075020 |
DOI: | 10.1088/1361-665x/ad4fcf |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10783943 - Publié(e) le:
20.06.2024 - Modifié(e) le:
20.06.2024