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Addendum: Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure (2013Smart Mater. Struct.22 015019) and Electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibers for handling of objects with rough surfaces (2013Smart Mater. Struct.2

Cette publication a 3 références bibliographiques :

  • Informations
    sur cette fiche
  • Reference-ID
    10225469
  • Publié(e) le:
    04.12.2018
  • Modifié(e) le:
    04.12.2018
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