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Addendum: Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure (2013Smart Mater. Struct.22 015019) and Electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibers for handling of objects with rough surfaces (2013Smart Mater. Struct.2

Diese Veröffentlichung enthält 3 Literaturhinweise zu anderen Veröffentlichungen:

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  • Reference-ID
    10225469
  • Veröffentlicht am:
    04.12.2018
  • Geändert am:
    04.12.2018
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