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Addendum: Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure (2013Smart Mater. Struct.22 015019) and Electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibers for handling of objects with rough surfaces (2013Smart Mater. Struct.2
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Reference-ID 10225469
Veröffentlicht am: 04.12.2018
Geändert am: 04.12.2018
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