Addendum: Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure (2013Smart Mater. Struct.22 015019) and Electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibers for handling of objects with rough surfaces (2013Smart Mater. Struct.2
| Autor(en): |
Shigeki Saito
Takeshi Kikutani Kunio Takahashi Wataru Takarada Fumiaki Soda Kenji Sawai Radon Dhelika |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Juli 2014, n. 7, v. 23 |
| Seite(n): | 079401 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/23/7/079401 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10225469 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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