A 2-DOF convective micro accelerometer with a low thermal stress sensing element
| Auteur(s): |
Van Thanh Dau
Dzung Viet Dao Susumu Sugiyama |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, décembre 2007, n. 6, v. 16 |
| Page(s): | 2308-2314 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/16/6/034 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10223594 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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