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A six-degree-of-freedom magnetic levitation fine stage for a high-precision and high-acceleration dual-servo stage

Cette publication a 14 références bibliographiques :

  • Informations
    sur cette fiche
  • Reference-ID
    10217131
  • Publié(e) le:
    04.12.2018
  • Modifié(e) le:
    04.12.2018
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