Investigation of structure of AlN thin films using Fourier-transform infrared spectroscopy
| Autor(en): |
Rashid Dallaev
Nikola Papež Dinara Sobola Shikhgasan Ramazanov Petr Sedlák |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Procedia Structural Integrity, 2019, v. 23 |
| Seite(n): | 601-606 |
| DOI: | 10.1016/j.prostr.2020.01.152 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10644598 - Veröffentlicht am:
10.01.2022 - Geändert am:
10.01.2022
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