A numerical study on airflow and dynamic cross-contamination in the super cleanroom for photolithography process
| Autor(en): |
Kwang-Chul Noh
Myung-Do Oh Seung-Chul Lee |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Building and Environment, November 2005, n. 11, v. 40 |
| Seite(n): | 1431-1440 |
| DOI: | 10.1016/j.buildenv.2004.11.016 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10392577 - Veröffentlicht am:
26.11.2019 - Geändert am:
26.11.2019
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