Lithography performance and environmental compatibility of PFOS-free photoacid generators
| Autor(en): |
Wenjie Sun
Youngjin Cho Marie Krysak Christine Y. Ouyang Reyes Sierra-Alvarez Christopher K. Ober |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Green Materials, Dezember 2017, n. 4, v. 5 |
| Seite(n): | 173-181 |
| DOI: | 10.1680/jgrma.17.00020 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10520871 - Veröffentlicht am:
08.12.2020 - Geändert am:
19.02.2021
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