Influence of ventilation arrangements on particle removal in industrial cleanrooms with various tool coverage
Autor(en): |
Yun-Chun Tung
Shih-Cheng Hu Tengfang Xu Ren-Huei Wang |
---|---|
Medium: | Fachartikel |
Sprache(n): | Englisch |
Veröffentlicht in: | Building Simulation, März 2010, n. 1, v. 3 |
Seite(n): | 3-13 |
DOI: | 10.1007/s12273-010-0301-z |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10546727 - Veröffentlicht am:
20.01.2021 - Geändert am:
19.02.2021