Active isolation of electronic micro-components with piezoelectrically transduced silicon MEMS devices
| Autor(en): |
Y. Meyer
T. Verdot M. Collet J. Baborowski P. Muralt |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Februar 2007, n. 1, v. 16 |
| Seite(n): | 128-134 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/16/1/016 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10223375 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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