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Accurate measurement of the piezoelectric coefficient of thin films by eliminating the substrate bending effect using spatial scanning laser vibrometry

Diese Veröffentlichung enthält 28 Literaturhinweise zu anderen Veröffentlichungen:

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  • Reference-ID
    10224194
  • Veröffentlicht am:
    04.12.2018
  • Geändert am:
    04.12.2018
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