Smart nano-machining and measurement system with semiconductive diamond probe
| Autor(en): |
Kazuya Unno
Yasutaka Kitamoto Takayuki Shibata Eiji Makino |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, August 2001, n. 4, v. 10 |
| Seite(n): | 730-735 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/10/4/317 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10215523 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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