A six-degree-of-freedom magnetic levitation fine stage for a high-precision and high-acceleration dual-servo stage
| Autor(en): |
MyeongHyeon Kim
Jae-heon Jeong HyoYoung Kim DaeGab Gweon |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Oktober 2015, n. 10, v. 24 |
| Seite(n): | 105022 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/24/10/105022 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10217131 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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