Performance improvement through CFD and field measurement in a unidirectional airflow cleanroom for wafer manufacture

Autor(en):	Indra Permana Alya Penta Agharid Fujen Wang
Medium:	Fachartikel
Sprache(n):	Englisch
Veröffentlicht in:	Journal of Building Engineering, April 2025, v. 100
DOI:	10.1016/j.jobe.2024.111715

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