A numerical study on effective arrangement of fan-filter units in a semiconductor cleanroom: Control of hazardous gas leakage from a process instrument
| Autor(en): |
Chengxi Yao
Seungjae Lee Xiaojiang Wen Jaewon Lee Seokchan Lee Seulgi Choi Dongbin Huh Taesung Kim |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Building and Environment, Januar 2025, v. 267 |
| Seite(n): | 112301 |
| DOI: | 10.1016/j.buildenv.2024.112301 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10811376 - Veröffentlicht am:
17.01.2025 - Geändert am:
17.01.2025
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