Microsensors, microelectromechanical systems (MEMS), and electronics for smart structures and systems
| Autor(en): |
V. K. Varadan
V. V. Varadan |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Dezember 2000, n. 6, v. 9 |
| Seite(n): | 953-972 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/9/6/327 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10215330 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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