Microelectromechanical systems (MEMS): fabrication, design and applications
| Autor(en): |
Jack W. Judy
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|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Dezember 2001, n. 6, v. 10 |
| Seite(n): | 1115-1134 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/10/6/301 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10215676 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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