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MEMS acoustic emission transducers designed with high aspect ratio geometry

Autor(en):

Medium: Fachartikel
Sprache(n): Englisch
Veröffentlicht in: Smart Materials and Structures, , n. 9, v. 22
Seite(n): 095006
DOI: 10.1088/0964-1726/22/9/095006
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  • Über diese
    Datenseite
  • Reference-ID
    10225123
  • Veröffentlicht am:
    04.12.2018
  • Geändert am:
    04.12.2018
 
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