MEMS acoustic emission transducers designed with high aspect ratio geometry
Autor(en): |
H. Saboonchi
D. Ozevin |
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Medium: | Fachartikel |
Sprache(n): | Englisch |
Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, September 2013, n. 9, v. 22 |
Seite(n): | 095006 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/22/9/095006 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10225123 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018