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Low frequency piezoelectric P(VDF-TrFE) micro-cantilevers with a novel MEMS process for vibration sensor and energy harvester applications

Autor(en):



Medium: Fachartikel
Sprache(n): Englisch
Veröffentlicht in: Smart Materials and Structures, , n. 6, v. 28
Seite(n): 065022
DOI: 10.1088/1361-665x/ab19d2
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  • Über diese
    Datenseite
  • Reference-ID
    10313243
  • Veröffentlicht am:
    13.05.2019
  • Geändert am:
    13.05.2019
 
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