Integration of SWNT film into MEMS for a micro-thermoelectric device
| Autor(en): |
Van Thanh Dau
Dzung Viet Dao Takeo Yamada Bui Thanh Tung Kenji Hata Susumu Sugiyama |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Juli 2010, n. 7, v. 19 |
| Seite(n): | 075003 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/19/7/075003 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10224214 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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