A high-performance structure for the bulk acoustic wave metal oxide semiconductor gas sensor
| Autor(en): |
Zhao Luo
Qiang Tang Songfei Su Junhui Hu |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, 29 August 2019, n. 10, v. 28 |
| Seite(n): | 105015 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ab360c |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10374560 - Veröffentlicht am:
19.09.2019 - Geändert am:
19.09.2019
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