Flexural-standing-wave elastic force motor using ZnO and PZT thin film on micromachined silicon membranes for wristwatch applications
| Autor(en): |
Georges-A Racine
Paul Muralt Marc-A Dubois |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Juni 1998, n. 3, v. 7 |
| Seite(n): | 404-416 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/7/3/015 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10214764 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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