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Distributed MEMS phase shifters by microstereolithography on silicon substrates for microwave and millimeter wave applications

Autor(en):


Medium: Fachartikel
Sprache(n): Englisch
Veröffentlicht in: Smart Materials and Structures, , n. 6, v. 10
Seite(n): 1224-1229
DOI: 10.1088/0964-1726/10/6/311
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  • Über diese
    Datenseite
  • Reference-ID
    10215652
  • Veröffentlicht am:
    04.12.2018
  • Geändert am:
    04.12.2018
 
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