Distributed MEMS phase shifters by microstereolithography on silicon substrates for microwave and millimeter wave applications
Autor(en): |
T. S. Ji
K. J. Vinoy V. K. Varadan |
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Medium: | Fachartikel |
Sprache(n): | Englisch |
Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Dezember 2001, n. 6, v. 10 |
Seite(n): | 1224-1229 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/10/6/311 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10215652 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018