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A digital output accelerometer using MEMS-based piezoelectric accelerometers and arrayed CMOS inverters with satellite capacitors

Autor(en):




Medium: Fachartikel
Sprache(n): Englisch
Veröffentlicht in: Smart Materials and Structures, , n. 6, v. 20
Seite(n): 065017
DOI: 10.1088/0964-1726/20/6/065017
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    Datenseite
  • Reference-ID
    10224469
  • Veröffentlicht am:
    04.12.2018
  • Geändert am:
    04.12.2018
 
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