A digital output accelerometer using MEMS-based piezoelectric accelerometers and arrayed CMOS inverters with satellite capacitors
| Autor(en): |
T. Kobayashi
H. Okada T. Masuda R. Maeda T. Itoh |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Juni 2011, n. 6, v. 20 |
| Seite(n): | 065017 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/20/6/065017 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10224469 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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