Design and fabrication of wireless remotely readable MEMS based microaccelerometers
Autor(en): |
Hareesh Subramanian
Vijay K. Varadan Vasundara V. Varadan M. J. Vellekoop |
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Medium: | Fachartikel |
Sprache(n): | Englisch |
Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Dezember 1997, n. 6, v. 6 |
Seite(n): | 730-738 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/6/6/010 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10214660 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018