Numerical analysis of the process-induced stresses in silicon microstructures: application to micromachined cantilever
| Autor(en): |
Vincent Senez
Thomas Hoffmann Aldo Armigliato Ingrid de Wolf |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Februar 2006, n. 1, v. 15 |
| Seite(n): | S47-S56 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/15/1/009 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10222988 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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