MEMS-based high-frequency vibration sensors
| Autor(en): |
A. W. Harris
I. J. Oppenheim D. W. Greve |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Juli 2011, n. 7, v. 20 |
| Seite(n): | 075018 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/20/7/075018 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10224480 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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