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Enhancing the piezoelectric properties of flexible hybrid AlN materials using semi-crystalline parylene

Autor(en):

Medium: Fachartikel
Sprache(n): Englisch
Veröffentlicht in: Smart Materials and Structures, , n. 4, v. 26
Seite(n): 045005
DOI: 10.1088/1361-665x/aa5d99
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  • Über diese
    Datenseite
  • Reference-ID
    10215719
  • Veröffentlicht am:
    04.12.2018
  • Geändert am:
    04.12.2018
 
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