Enhancing the piezoelectric properties of flexible hybrid AlN materials using semi-crystalline parylene

Autor(en):	Nathan Jackson Alan Mathewson
Medium:	Fachartikel
Sprache(n):	Englisch
Veröffentlicht in:	Smart Materials and Structures, April 2017, n. 4, v. 26
Seite(n):	045005
DOI:	10.1088/1361-665x/aa5d99

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