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The effect of a piezoelectric layer on the mechanical behavior of an electrostatic actuated microbeam

Autor(en):


Medium: Fachartikel
Sprache(n): Englisch
Veröffentlicht in: Smart Materials and Structures, , n. 6, v. 17
Seite(n): 065024
DOI: 10.1088/0964-1726/17/6/065024
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  • Über diese
    Datenseite
  • Reference-ID
    10223813
  • Veröffentlicht am:
    04.12.2018
  • Geändert am:
    04.12.2018
 
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